| 专利名称 | 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机 | 申请号 | CN201610205482.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105739248A | 公开（授权）日 | 2016.07.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 倪明阳;华洋洋;于新峰;郭抗;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机 至光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和镜座径向上均具有柔性，所述支撑杆(246)末端设置有支撑面(247)，所述支撑面(247)与光学元件(22)的下表面相互匹配，以将光学元件(22)固定在所述镜座(24)上；所述支撑杆(246)的内侧连接有一运动台(245)，所述运动台(245)通过一导向机构(243)与镜座(24)的外环连接，所述导向机构(243)用于运动台(245)的运动导向。 |
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