非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法

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专利名称 非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法 申请号 CN201510962256.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105627945A 公开(授权)日 2016.06.01 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 刘钰;苗亮;张文龙;马冬梅;金春水 主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I 专利有效期 非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法 至非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法,涉及超高精度非球面面形检测加工领域。该方法为在以非球面元件外圆为中心做四个标记点;调节非球面元件使非球面面形测量装置光轴、非球面光轴及转台转轴相一致;当转台处于0度位置时检测非球面,记录4个标记点此时在干涉仪CCD上的像素位置坐标,得到非球面元件外圆中心的像素位置坐标(X1,Y1);转台在0度、90度、180度以及270度位置处检测非球面,记录4个角度位置下任一标记点在的像素位置坐标,得到非球面中心的像素位置坐标(X2,Y2);非球面中心与非球面元件外圆中心偏离的像素数为(X1-X2,Y1-Y2),偏离量为(X1-X2,Y1-Y2)乘以像素分辨率。本发明结构简单、成本低、精度高。

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