专利名称 | 一种复合缓蚀剂及其制备方法 | 申请号 | CN201510955349.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN105603436A | 公开(授权)日 | 2016.05.25 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 发明(设计)人 | 郑春柏;尹园;魏巍;柳美华;张依帆;邓鹏飏 | 主分类号 | C23F11/08(2006.01)I | IPC主分类号 | C23F11/08(2006.01)I;C23F11/16(2006.01)I | 专利有效期 | 一种复合缓蚀剂及其制备方法 至一种复合缓蚀剂及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
本发明提供一种复合缓蚀剂及其制备方法,属于复合缓蚀剂技术领域。解决现有的缓蚀剂与尼龙、聚醚酰亚胺以及含氟橡胶相容性差的问题。本发明的复合缓蚀剂,按照重量份数计,包括如下组分:钼酸钠1-10份,钨酸钠1-5份,乌洛托品1-5份,苯基咪唑啉1-10份,缓蚀剂80-90份,所述的缓蚀剂的结构式,如式Ⅰ所示。本发明还提供一种复合缓蚀剂的制备方法。本发明的复合缓蚀剂与尼龙、聚醚酰亚胺以及含氟橡胶相容性良好而且可在宽温域下发挥作用。 |
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