一种复合缓蚀剂及其制备方法

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专利名称 一种复合缓蚀剂及其制备方法 申请号 CN201510955349.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105603436A 公开(授权)日 2016.05.25 申请(专利权)人 中国科学院长春应用化学研究所 发明(设计)人 郑春柏;尹园;魏巍;柳美华;张依帆;邓鹏飏 主分类号 C23F11/08(2006.01)I IPC主分类号 C23F11/08(2006.01)I;C23F11/16(2006.01)I 专利有效期 一种复合缓蚀剂及其制备方法 至一种复合缓蚀剂及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种复合缓蚀剂及其制备方法,属于复合缓蚀剂技术领域。解决现有的缓蚀剂与尼龙、聚醚酰亚胺以及含氟橡胶相容性差的问题。本发明的复合缓蚀剂,按照重量份数计,包括如下组分:钼酸钠1-10份,钨酸钠1-5份,乌洛托品1-5份,苯基咪唑啉1-10份,缓蚀剂80-90份,所述的缓蚀剂的结构式,如式Ⅰ所示。本发明还提供一种复合缓蚀剂的制备方法。本发明的复合缓蚀剂与尼龙、聚醚酰亚胺以及含氟橡胶相容性良好而且可在宽温域下发挥作用。

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