一种具有富硼化钨涂层的工件

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专利名称 一种具有富硼化钨涂层的工件 申请号 CN201720311824.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206721356U 公开(授权)日 2017.12.08 申请(专利权)人 深圳先进技术研究院 发明(设计)人 唐永炳;石磊;蒋春磊 主分类号 C23C14/35(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 专利有效期 一种具有富硼化钨涂层的工件 至一种具有富硼化钨涂层的工件 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型提供了一种具有富硼化钨涂层的工件,包括工件基体,以及依次设置于所述工件基体上的钨层、硼化钨梯度层和富硼化钨涂层;沿所述工件基体向所述钨层的厚度方向,所述硼化钨梯度层中的硼含量逐渐增加;所述富硼化钨涂层中的晶粒为WBy,其中,y为2.5?4的数值。本实用新型中独特的涂层结构,可使各层间的结合强度将高,各层之间的弹性模量和热膨胀系数从基体到顶层薄膜呈梯度变化,将整体涂层的应力降至趋于零,提高富硼化钨涂层的韧性和结合力。

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