一种半原位X射线光电子能谱分析仪的样品转移装置

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专利名称 一种半原位X射线光电子能谱分析仪的样品转移装置 申请号 CN201720056623.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206725477U 公开(授权)日 2017.12.08 申请(专利权)人 中国科学院化学研究所 发明(设计)人 章小余;袁震;赵志娟 主分类号 G01N23/227(2006.01)I IPC主分类号 G01N23/227(2006.01)I 专利有效期 一种半原位X射线光电子能谱分析仪的样品转移装置 至一种半原位X射线光电子能谱分析仪的样品转移装置 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型涉及一种半原位X射线光电子能谱分析仪的样品转移装置,其特征在于,它包括:样品托,所述样品托包括上部分布有多个样品容置凹槽的样品台;真空罩,所述真空罩放置于所述样品台的上表面且将所述样品台上的所有样品容置凹槽包围于其中,所述真空罩的顶部开有通气孔,在位于所述通气孔外周的所述真空罩顶部设有圆柱环,所述圆柱环与所述通气孔同轴;密封柱,所述密封柱与所述真空罩顶部的所述圆柱环螺旋副连接,所述密封柱内开有空腔,所述密封柱底部封闭,顶部开有与空腔连通的通孔,靠近所述密封柱底部的侧壁上开有与其内部空腔相连通的抽气孔。

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