| 专利名称 | 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法 | 申请号 | CN201510237227.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106324995A | 公开（授权）日 | 2017.01.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 李杰;唐锋;王向朝;吴飞斌;张国先;郭福东 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法 至光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器并具有XYZ三维扫描能力和精确定位能力的工件台。利用该装置实时原位检测光刻机投影物镜的波像差，提高了波像差检测速度和空间分辨率。 |
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