| 专利名称 | 一种新型高精度MEMS加速度计 | 申请号 | CN201610105866.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105759077A | 公开（授权）日 | 2016.07.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明（设计）人 | 薛旭;杨长春;李宗伟;熊兴崟;韩可都;丛宁 | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/125(2006.01)I | 专利有效期 | 一种新型高精度MEMS加速度计 至一种新型高精度MEMS加速度计 | 法律状态 | 著录事项变更 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种加速度计，具体涉及一种MEMS加速度计，具体为将高速的数字量化单元嵌入到MEMS加速度计的sigma?delta全闭环电路中，并通过信号估计与处理，实现了由低位量化器组成的MEMS全闭环sigma?delta系统达到了全数字闭环和高位数字量化输出。通过本发明的信号处理算法、系统稳定性设计，实现反馈静电力量化的同时，实现了数字反馈。同时采用数字方式实现环路滤波器，能够避免模拟环路滤波器产生的积分饱和现象，同时降低版图设计难度以及模拟环路滤波器的噪声对系统影响，有效地提高了MEMS加速度计的性能。 |
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