| 专利名称 | 一种气体自动控制系统及控制方法 | 申请号 | CN201610480271.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105912057A | 公开（授权）日 | 2016.08.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 孙艳;余平;陈鑫;戴宁 | 主分类号 | G05D27/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G05D27/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种气体自动控制系统及控制方法 至一种气体自动控制系统及控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种气体自动控制系统及其控制方法，包括单向止回阀、质量流量计、三向阀、排气阀、电阻加热丝、热电偶、温度模块、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器、PLC控制模块、电源模块；本发明对气路管道进行了合理的设计，对气体的压力及质量流量可以达到非常高的精度控制，并且可以对气体进行加热；同时本气体控制管道集成了多种功能，使得采集的数据不但可以上传到电脑，还可以提供给多种设备进行分析使用，提高数据的利用率，设计简单，适合推广使用。 |
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