一种近红外探测器及其制备方法

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专利名称 一种近红外探测器及其制备方法 申请号 CN201610344859.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105895728A 公开(授权)日 2016.08.24 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 张志伟;繆国庆;宋航;黎大兵;蒋红;李志明;陈一仁;孙晓娟 主分类号 H01L31/105(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/105(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 一种近红外探测器及其制备方法 至一种近红外探测器及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本申请公开了一种近红外探测器及其制备方法,其中,所述近红外探测器包括:衬底;位于所述衬底表面的缓冲层;位于所述缓冲层背离所述衬底一侧的吸收层;位于所述吸收层背离所述缓冲层一侧的窗口层;所述窗口层为二硫化钼层。二硫化钼可表现出P型半导体的性质,且在近红外波段具有很好的透光性,使其可以作为所述近红外探测器的窗口层;更为重要的是,所述二硫化钼层在近红外波段可以产生显著的表面等离激元效应,从而增强所述近红外探测器对入射近红外光的吸收(增强光捕获作用),进而提高所述近红外探测器的量子效率。

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