| 专利名称 | 一种金属微结构及其制作方法 | 申请号 | CN201610188420.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105858591A | 公开（授权）日 | 2016.08.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院高能物理研究所 | 发明（设计）人 | 张天冲;伊福廷;王波;刘静;张新帅;孙钢杰;王雨婷 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种金属微结构及其制作方法 至一种金属微结构及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种金属微结构及其制作方法，其中方法首先在一平整的基片的表面涂覆一层光刻胶，并对光刻胶进行曝光、显影，以在基片的表面形成光刻胶图形，然后令基片发生形变，以使得所述光刻胶图形随所述基片一同发生形变，接着在基片表面上的非光刻胶图形处，进行金属镀膜，最后去除光刻胶和基片，得到金属微结构。本发明实现了具有不同轴线方向通孔的金属微结构，其在光学成像领域有重要应用价值。 |
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