| 专利名称 | 一种抛光机用调速调压压头 | 申请号 | CN201410754055.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105729269A | 公开（授权）日 | 2016.07.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 贾勇;刘顺福;张杰;李刚;孙龙 | 主分类号 | B24B13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B13/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种抛光机用调速调压压头 至一种抛光机用调速调压压头 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种新型的抛光机用调压调速压头。从抛光过程的自转转速和抛光压力两方面考量，设计了一种调压调速压头，实现了抛光过程的压力和转速可调，并对机床振动有一定的缓冲效果。该压头可以方便的利用一个转接头安装在现有抛光机上工作，将不可控的工件自转转化为一个可以自由调节的工艺参数，并能实现对抛光压力的自由调节。该发明有利于摸索光学抛光过程的规律参数，有助于开展确定性抛光工作；并能有效改善抛光去除率函数曲线，对抛光的精度和效率有显著贡献。 |
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