| 专利名称 | 一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及制备 | 申请号 | CN201410724183.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105720117A | 公开（授权）日 | 2016.06.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 李灿;严鹏丽;冯兆池;甘阳;范峰滔;安虹宇 | 主分类号 | H01L31/0296(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及制备 至一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及制备 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及其制备方法。探测器自下而上的组成依次为透明导电衬底，TiO2金红石相薄膜，TiO2锐钛矿相薄膜和导电电极。其特征在于探测器具有TiO2金红石相和锐钛矿相组成的同质异相结，通过TiO2不同晶相间形成的内建电场促进光生载流子定向分离，降低光生载流子的复合。与传统TiO2基紫外探测器相比，本发明具有无需外加偏压，响应速度快，响应灵敏度高，制备方便等优点。在小于385nm的紫外光照下，在没有外加偏压的测试条件下，自驱动的紫外探测器的光响应可达到1.67mA/cm2。本发明为紫外/深紫外光探测提供了一种新的方法。 |
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