| 专利名称 | 静电键合设备及静电键合产生的方法 | 申请号 | CN201610597631.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106082117A | 公开（授权）日 | 2016.11.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院声学研究所 | 发明（设计）人 | 汤亮;张忠山;季磊;支萌辉;齐敏;孙泉;乔东海;张倩 | 主分类号 | B81C3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 静电键合设备及静电键合产生的方法 至静电键合设备及静电键合产生的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种静电键合设备及静电键合产生的方法，该设备包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000)，静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室，手套箱设备(0000)内部设置有手套箱；静电键合室与手套箱之间设立连接通道(0002)，连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移。本发明利用连接通道使手套箱和静电键合室连接在一起，保证了整个操作环境的洁净度，保证了操作环境与氧气、水汽隔绝，避免了厌氧、怕水汽的对象在操运过程中接触氧气和水汽的问题。 |
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