| 专利名称 | 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法 | 申请号 | CN201510325941.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106324996A | 公开（授权）日 | 2017.01.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 唐锋;李杰;王向朝;冯鹏;徐世福;卢云君 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法 至光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法，该装置包括光刻机的光源、照明系统、掩模台、投影物镜、工件台和计算机，还包括物面光栅板、波像差传感器。利用该装置原位检测光刻机的成像质量：波像差、畸变与场曲，提高了成像质量检测的并行通道数和检测速度。 |
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