一种基于抽运探测热反射技术的热导率扫描系统

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专利名称 一种基于抽运探测热反射技术的热导率扫描系统 申请号 CN201621392098.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206540818U 公开(授权)日 2017.10.03 申请(专利权)人 中国科学院工程热物理研究所 发明(设计)人 孙方远;赵勇;唐大伟;陈哲;王新伟;杨明 主分类号 G01N21/17(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/17(2006.01)I;G01N25/20(2006.01)I 专利有效期 一种基于抽运探测热反射技术的热导率扫描系统 至一种基于抽运探测热反射技术的热导率扫描系统 法律状态 说明书摘要 本实用新型提供了一种基于抽运探测热反射技术的热导率扫描系统:脉冲激光器发出的激光经过第一1/2波片后由第一偏振分光棱镜分为两束;激光束一平行通过第一偏振分光棱镜继续传输,依次经过激光倍频模块、短波通滤光片、激光调制器、短波反射镜后到达冷光镜,其中激光调制器与信号发生器连接;激光束二依次经过长波反射镜、直角反射镜、第二1/2波片、第二偏振分光棱镜、1/4波片后到达冷光镜;激光束一与激光束二汇合后经过物镜到达样品固定架,其中样品固定架固定于三维电动移动台上,三维电动移动台与伺服电机控制器连接;激光束二经过样品反射后依次通过物镜、冷光镜、1/4波片、第二偏振分光棱镜后由凸透镜聚焦至光电探测器。

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