一种用于红外光谱的衬底

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专利名称 一种用于红外光谱的衬底 申请号 CN201610605777.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106206776A 公开(授权)日 2016.12.07 申请(专利权)人 国家纳米科学中心 发明(设计)人 胡海;胡德波;刘瑞娜;白冰;杨晓霞;戴庆 主分类号 H01L31/0236(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/0236(2006.01)I 专利有效期 一种用于红外光谱的衬底 至一种用于红外光谱的衬底 法律状态 著录事项变更 说明书摘要 本发明提供了一种用于红外光谱的衬底,这种衬底的结构包括窗口层和支撑基底,窗口层位于支撑基底之上,选用单原子至1000个原子层厚度的二维材料;支撑基底的横向切面形状为圆形、椭圆形、三角形、正方形、矩形、五角形结构、正六边形、八角形,所述支撑基底的几何尺寸为500μm?5cm,厚度为1μm?5cm;支撑基底其上设置有若干通孔结构,通孔以阵列形式排布,通孔阵列的中心与基底的几何中心基本保持一致,通孔之间的间距为1μm?4cm;所述通孔对应的窗口层部位形成悬空的窗口层;其中所述二维材料选自石墨烯,二硫化钼,氮化硼,MX2,黑磷。

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