整体三维结构模板、三维结构材料及其可控制备方法

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专利名称 整体三维结构模板、三维结构材料及其可控制备方法 申请号 CN201510112293.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106032266A 公开(授权)日 2016.10.19 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 孔涛;肖淼;王炜;张杰;程国胜 主分类号 B81C1/00(2006.01)I IPC主分类号 B81C1/00(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I 专利有效期 整体三维结构模板、三维结构材料及其可控制备方法 至整体三维结构模板、三维结构材料及其可控制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种整体三维结构模板、三维结构材料及其可控制备方法。该可控制备方法包括:在衬底表面依次形成牺牲层和种子层,并在种子层上加工出设定图案结构;在种子层上形成材料生长模板,而后去除所述牺牲层和种子层,获得单层材料生长模板;将复数单层材料生长模板以设定角度和方向对准,并使各单层材料生长模板之间相互作用形成整体三维结构模板;以及,基于所述整体三维结构模板生长形成三维结构材料。藉由本发明的工艺,能够精确制备出形状和尺寸可控的三维模板,进而可以制备出精确可控的三维结构材料,且对不同种类的单原子层二维材料组装成三维宏观结构材料具有普适性,适用于超级传感器,太阳能电池等材料能源领域。

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