| 专利名称 | 一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计 | 申请号 | CN201610569046.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106006541A | 公开（授权）日 | 2016.10.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 发明（设计）人 | 杨俊;魏兴战;汤林龙;申钧;周大华;冯双龙;史浩飞;杜春雷 | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B7/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01J5/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计 至一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计，碳纳米薄膜中sp2杂化状态的碳含量高于75％，薄膜的孔隙半径为30nm～500nm，孔隙率为30％～70％，多孔碳纳米薄膜的厚度为30nm～3000nm。采用两步刻蚀的方法制备：在溅射沉积碳纳米薄膜过程中通入氧气进行选择性刻蚀，形成孔隙结构；进而，引入超薄金属掩蔽，在氧气刻蚀气氛中进行二次刻蚀，最终形成具有较好孔隙率的多孔碳纳米薄膜；该多孔碳纳米薄膜可以应用于微测辐射热计中，作为红外吸收增强材料或者单独作为红外吸收层，不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度，而且可以实现宽波段红外吸收，器件结构简单，工艺兼容，有优异的非制冷红外探测性能。 |
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