一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片

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专利名称 一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片 申请号 CN201610538955.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106019426A 公开(授权)日 2016.10.12 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 于天燕;成效春;蒋林;刘定权 主分类号 G02B1/115(2015.01)I IPC主分类号 G02B1/115(2015.01)I 专利有效期 一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片 至一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片,该保护片以Ta2O5和SiO2为高低折射率材料,入射面采用负滤光片加多层分光膜的膜系设计方法辅以等效匹配层,获得满足要求的设计结果;背面设计了宽光谱减反射膜,以消除因剩余反射而引起的鬼像。VNIR狭缝保护片在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺。该VNIR狭缝保护片能够实现对480?700nm波段的中性分光,同时对400?440nm、800?1100nm的宽光谱波段实现高透射。本发明VNIR狭缝保护片性能稳定,适合于高光谱相机VNIR波段的光谱选择与能量控制使用。

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