一种用于流动气氛中水汽浓度控制的装置

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专利名称 一种用于流动气氛中水汽浓度控制的装置 申请号 CN201621481801.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206439964U 公开(授权)日 2017.08.25 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 赵晗;周晓霞;王敏;潘琳钰;陈航榕;施剑林 主分类号 F24F6/08(2006.01)I IPC主分类号 F24F6/08(2006.01)I;F24F6/10(2006.01)I;F24F11/00(2006.01)I;F24F11/02(2006.01)I 专利有效期 一种用于流动气氛中水汽浓度控制的装置 至一种用于流动气氛中水汽浓度控制的装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种用于流动气氛中水汽浓度控制的装置,包括:液态水注入装置(1)、流体管路(7)、加热装置(3)和外部气源,所述液态水注入装置(1)与所述流体管路(7)相连接以将液态水注入所述流体管路(7)中;所述加热装置(3)用于对所述流体管路(7)进行加热;所述外部气源在所述加热装置(3)的下游侧连通至所述流体管路(7)。本实用新型所述装置可广泛调节水汽含量0?100?vol?%,可适应较宽的气体流量范围50?10000?毫升每分钟,尤其适用于恒定的或者缓慢变化的气体流量。

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