| 专利名称 | 一种高精度的压力控制装置 | 申请号 | CN201720100071.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206451051U | 公开（授权）日 | 2017.08.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 高波;罗二仓;张海洋;林鹏;陈燕燕 | 主分类号 | G05D16/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G05D16/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高精度的压力控制装置 至一种高精度的压力控制装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种高精度的压力控制装置，其包括：气瓶，其包括有高纯度的工作气体；至少一个腔体，所述气瓶与所述至少一个腔体的进气管道连接，所述至少一个腔体的出气管连接到压力计，所述工作气体通过所述压力计进入到反馈回路。本实用新型结构简单、控压精度高，其解决了绝对压力测量过程中活塞压力计内部泄气导致测压周期短、连续波动大和测压管路存在“死空间”等问题。 |
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