| 专利名称 | 一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪 | 申请号 | CN201720045882.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206410784U | 公开（授权）日 | 2017.08.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 李钦明;杨家岳;丁洪利;陶凯;张未卿;杨学明 | 主分类号 | G01J1/42(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J1/42(2006.01)I | 专利有效期 | 一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪 至一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪，包括真空腔体(1)、金属光强衰减装置(2)、光电二极管基座(3)、光电二极管(4)、真空引线装置(5)、直流稳压电源(6)、测量电路单元(7)和示波器(8)，金属光强衰减装置置于光电二极管之前，光电二极管安装在光电二极管基座上，金属光强衰减装置、光电二极管基座和光电二极管置于真空腔体中；用真空引线装置把光电二极管两个引脚信号引出真空腔体外；两个引脚信号接入测量电路单元信号输入端，直流稳压电源输出接入测量电路单元直流输入端，测量电路单元的信号输出端接一示波器。本实用新型通过改变金属光强衰减装置档位和偏压大小，绝对测量纳焦至毫焦级脉冲真空紫外光强度。 |
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