| 专利名称 | 一种材料辐射致放气的在线测试装置 | 申请号 | CN201621345502.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206362660U | 公开（授权）日 | 2017.07.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 罗艳;吴晓斌;王魁波;陈进新;谢婉露;张罗莎 | 主分类号 | G01N7/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N7/14(2006.01)I;G01N1/44(2006.01)I | 专利有效期 | 一种材料辐射致放气的在线测试装置 至一种材料辐射致放气的在线测试装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元；所述真空腔室系统包括真空腔室、样品台、样品和法兰窗口，所述抽气系统包括：干式机械泵、磁悬浮分子泵、限流小孔、第一角阀、插板阀和第二角阀，所述供气系统包括：气源、第一截止阀、微调阀、第二截止阀和气体流量控制器。该装置结构简单，操作方便，且可对质谱仪和有效抽速进行校准，测试结果更为真实精确。 |
1、源头对接，价格透明
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