| 专利名称 | 透射光学元件疵病测试装置 | 申请号 | CN201621366808.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206362722U | 公开（授权）日 | 2017.07.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 陈永权;段亚轩;赵建科;李坤;聂申;宋琦 | 主分类号 | G01N21/958(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/958(2006.01)I | 专利有效期 | 透射光学元件疵病测试装置 至透射光学元件疵病测试装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 为了解决传统测试方法耗时耗力、对光学元件内部的疵病测量受限的弊端，本实用新型提供了一种透射光学元件疵病的测试装置，其中装置包括激光器、准直镜、定焦镜头、CCD、移动机构和采集控制计算机；所述准直镜设置在激光器的输出光路上；所述定焦镜头和CCD刚性连接组成成像系统，成像系统的监视面通过定焦镜头和CCD感光面成共轭关系；所述成像系统固定在移动机构上；所述移动机构与采集控制计算机相连。 |
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