| 专利名称 | 具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器 | 申请号 | CN201621119950.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206282868U | 公开（授权）日 | 2017.06.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘福浩;杨晓阳;贾嘉;蒋科;罗毅;刘诗嘉;孙晓宇;李向阳 | 主分类号 | H01L31/09(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/09(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I;H01L31/02(2006.01)I | 专利有效期 | 具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器 至具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器。器件结构包括：蓝宝石衬底；在衬底上制作矩形敏感元和补偿元，补偿元在敏感元任一侧，敏感元剖面呈倒凹形，与衬底之间有空气夹层，补偿元直接制作在衬底上；敏感元与补偿元矩形短边的内外两侧各制作电极端；敏感元与补偿元之间临近的电极连通形成公共电极，作为信号引出端。该结构使得热敏探测器的响应率大大提高；“亮”补偿元的设计不仅满足了对环境温度波动的补偿，而且有效降低了工艺制作难度。 |
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