基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪

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专利名称 基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪 申请号 CN201621424000.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206269927U 公开(授权)日 2017.06.20 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 卢增雄;齐月静;王宇;齐威;杨光华;苏佳妮;周翊 主分类号 G01J9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/02(2006.01)I 专利有效期 基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪 至基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪,涉及光学测量技术领域。本实用新型提出的光束空间相干长度测量仪采用具备非等间距排列的多孔阵列板,通过探测器采集多孔衍射波前的干涉图,只需单次测量,便可测得光束的空间相干长度,仪器结构简单,测量速度快。

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