一种材料辐射致气体渗透的测试装置

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专利名称 一种材料辐射致气体渗透的测试装置 申请号 CN201621138020.6 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206223611U 公开(授权)日 2017.06.06 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 吴晓斌;罗艳;王魁波;陈进新;谢婉露;张罗莎 主分类号 G01N15/08(2006.01)I IPC主分类号 G01N15/08(2006.01)I;G01N7/10(2006.01)I 专利有效期 一种材料辐射致气体渗透的测试装置 至一种材料辐射致气体渗透的测试装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种材料辐射致气体渗透的测试装置,该装置包括:真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统,所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2),所述辐射系统包括光源(5)及照明系统,所述抽气系统包括三个抽气通道,所述供气系统包括顺次连接的气瓶(16)、减压阀(17)、截止阀(18)和流量控制器(19),所述检测系统包括第一真空计(20)、第二真空计(21)和质谱计(22),其中第一真空计(20)、第二真空计(21)分别用于测试左腔室和右腔室的压力,质谱计(22)用于测量右腔室的气体组分和分压。该装置结构简单,能够准确真实地和在线实时地测量辐射下材料的气体渗透率。

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