一种显微可视化抽运探测热反射系统

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专利名称 一种显微可视化抽运探测热反射系统 申请号 CN201621393038.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206258371U 公开(授权)日 2017.06.16 申请(专利权)人 中国科学院工程热物理研究所 发明(设计)人 孙方远;郭敬东;高松信;唐大伟;陈哲;王新伟 主分类号 G01N21/17(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/17(2006.01)I 专利有效期 一种显微可视化抽运探测热反射系统 至一种显微可视化抽运探测热反射系统 法律状态 说明书摘要 本实用新型提供了一种显微可视化抽运探测热反射系统,脉冲激光器发出的线偏振激光分别经第一光路和第二光路到达电控冷光镜,激光束一与激光束二汇合后由样品反射,激光束二经第三光路后由分束镜分为激光束三和激光束四,激光束三到达光电探测器与锁相放大器,激光束四到达数字摄像机。本实用新型通过计算机识别出数字摄像机拍摄图像中的抽运与探测光斑,控制电控冷光镜发生角度偏转,改变抽运光斑的位置,使抽运与探测光斑精确重合,可以消除由于环境温度变化,光学元件应力以振动引起的光斑重合度降低问题,自动化程度高,控制精度大为提高,通过该系统可以实时观察样品表面的微观结构,实现测量位置的精密控制和微观结构热导率的精密测量。

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