高动态范围的图像传感器及其制造方法

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专利名称 高动态范围的图像传感器及其制造方法 申请号 CN201210175223.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102683374B 公开(授权)日 2014.10.15 申请(专利权)人 中国科学院上海高等研究院 发明(设计)人 苗田乐;方娜;田犁;汪辉;陈杰 主分类号 H01L27/146(2006.01)I IPC主分类号 H01L27/146 专利有效期 高动态范围的图像传感器及其制造方法 至高动态范围的图像传感器及其制造方法 法律状态 专利权的转移 说明书摘要 本发明涉及半导体器件领域,公开了一种高动态范围图像传感器及其制造方法。本发明中,巧妙地利用金属布线层中空余的面积,形成MIM电容,并与浮动扩散区并联,扩大了浮动扩散区域的阱容量,提高了图像传感器光生电荷储存能力,从而提高了动态范围的上限。与此同时,由于未增加浮动扩散区域本身的面积,避免了暗电流噪声的增大。

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