多功能图像传感器及其制作方法

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专利名称 多功能图像传感器及其制作方法 申请号 CN201210046954.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102569325B 公开(授权)日 2014.07.30 申请(专利权)人 中国科学院上海高等研究院 发明(设计)人 苗田乐;陈杰;汪辉;方娜;田犁 主分类号 H01L27/146(2006.01)I IPC主分类号 H01L27/146; H04N5/374 专利有效期 多功能图像传感器及其制作方法 至多功能图像传感器及其制作方法 法律状态 专利权的转移 说明书摘要 本发明涉及图像传感器领域,公开了一种多功能图像传感器及其制作方法。本发明中,在传统的CMOS图像传感器的基础上,增加了新的掺杂区,与感光器件表面上的一个掺杂区形成发光二极管结构,使CMOS图像传感器同时具有感光和发光的功能。在衬底上形成转移晶体管的栅极,可以进一步地提高图像传感器的集成度。第二区域为P型半导体可以提高光敏感性,消除表面态和表面缺陷引起的暗电流,从而减小热噪声。第二区域和第一区域之间的PN结构成图像传感器的感光器件,第二区域的掺杂浓度远大于第一区域的掺杂浓度,这样可以使耗尽层更厚,使光线吸收更好。驱动频率至少为24Hz,符合人体视觉暂留的时间,可以产生无停滞感的连续图像。

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