| 专利名称 | 一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置 | 申请号 | CN201621114591.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206210745U | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 顾玉明;韦江龙;谢亚红;李军;谢远来;胡纯栋;梁立振;邑伟;陶玲;杨思皓 | 主分类号 | H01J37/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置 至一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置，在放电室的顶端固定有放电室盖板，在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器，所述的放电室固定安装在探针板上，在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针，所述的磁滤器安装在探针板的下面，所述的锥形支撑座位于探针板的下方，电极系统安装在锥形支撑座上，在锥形支撑座上设有两层金属法兰，所述的支撑环氧位于两层金属法兰之间，在锥形支撑座上还设有冷却水管一，所述的冷却水管一的两端分别位于金属法兰上。本实用新型通过RF驱动器产生稳定的长脉冲等离子体，在铯注入器的帮助下提高负氢离子的产出，通过引出系统引出束流，束流密度达到350A/m2。 |
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