专利名称 | 一种透射EBSD夹具 | 申请号 | CN201621239373.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN206210746U | 公开(授权)日 | 2017.05.31 | 申请(专利权)人 | 中国科学院地球化学研究所 | 发明(设计)人 | 李阳;李瑞;明建川 | 主分类号 | H01J37/26(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/26(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种透射EBSD夹具 至一种透射EBSD夹具 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种透射EBSD夹具,包括基座,基座为楔形结构,基座的倾斜面上安装有夹体,夹体上设置有通孔,夹头上设置有与通孔相匹配的滑块,夹头通过滑块活动安装在夹体的通孔内。该透射EBSD夹具结构简单,将装有样品的透射电镜专用铜网安装在夹头上,通过基座固定在扫描电镜样品台上,实现样品的透射EBSD(背散射电子衍射)观察,相对于常规EBSD具有空间分辨率高、荷电效应弱的优点。 |
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