| 专利名称 | 多孔氮化硅支撑膜窗格及其用于透射电镜成像的装置 | 申请号 | CN201620771104.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206163454U | 公开（授权）日 | 2017.05.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 谷林;其他发明人请求不公开姓名 | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/20(2006.01)I | 专利有效期 | 多孔氮化硅支撑膜窗格及其用于透射电镜成像的装置 至多孔氮化硅支撑膜窗格及其用于透射电镜成像的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种多孔氮化硅支撑膜窗格，所述多孔氮化硅支撑膜窗格包括衬底，覆盖在所述衬底一面的正面氮化硅，覆盖在所述衬底另一面的背面氮化硅和贯穿所述衬底与背面氮化硅的窗口；所述正面氮化硅具有多个贯通孔，所述贯通孔的孔径为20nm～370nm。该多孔氮化硅支撑膜窗格产生的多孔孔径均一，支撑膜无残留杂质，可以实现商业化应用。还提供了一种用于透射电镜成像的装置。 |
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