| 专利名称 | 一种自动调节的斜入射光路 | 申请号 | CN201620992982.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206161944U | 公开（授权）日 | 2017.05.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明（设计）人 | 陈鲁;刘虹遥;张朝前;杨乐;马砚忠;路鑫超 | 主分类号 | G02B7/182(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/182(2006.01)I;G05D3/12(2006.01)I | 专利有效期 | 一种自动调节的斜入射光路 至一种自动调节的斜入射光路 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型属于光学技术领域，公开了一种自动调节的斜入射光路，包括：激光器；第一反射镜，使光束斜入射至样品台表面，由电动旋转镜架控制旋转角度；第二反射镜；分束器；位置探测器，探测得到第二子坐标系中光束中心位置；控制单元，获取第二子坐标系中光束中心位置，计算得出第一子坐标系中光束中心位置，计算得到第一反射镜需要调整的角度，通过发布指令传递给电动旋转镜架，从而调整第一反射镜的旋转角度；本实用新型解决了现有技术中不能自动监控和调节反射镜，且在反射镜发生偏移后，校准精度较低、难度较大、花费时间较长的问题；达到了调节精度高、难度低、时间短的技术效果。 |
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