多坩埚下降法制备氟化镁晶体的生长设备

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专利名称 多坩埚下降法制备氟化镁晶体的生长设备 申请号 CN201621042259.3 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206070043U 公开(授权)日 2017.04.05 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 李百中;李铮;施振华;侯印春 主分类号 C30B29/12(2006.01)I IPC主分类号 C30B29/12(2006.01)I;C30B11/02(2006.01)I;C30B11/14(2006.01)I 专利有效期 多坩埚下降法制备氟化镁晶体的生长设备 至多坩埚下降法制备氟化镁晶体的生长设备 法律状态 说明书摘要 一种多坩埚下降法制备氟化镁晶体的生长设备,所述多孔石墨坩埚包括籽晶区、晶体生长区、料仓区和坩埚盖四部分;所述生长设备还包括炉膛、下降装置和铜感应加热线圈,所述炉膛的上方和下方设有通气孔,所述炉膛内壁、铜感应线圈和下降杆表面镀有镍层或是耐高温的有机树脂层,能够耐氟化氢等气体腐蚀。本实用新型中氟化镁晶体外形和尺寸容易控制;并且多坩埚同时生长氟化镁晶体,生长效率高,有利于工业化生产。

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