| 专利名称 | 一种内置天线射频离子源 | 申请号 | CN201621043497.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206075824U | 公开（授权）日 | 2017.04.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 蒋才超;李军;胡纯栋;谢亚红;吴斌;赵鹏;刘胜;韦江龙;顾玉明;刘玲;王进芳 | 主分类号 | G21B1/11(2006.01)I | IPC主分类号 | G21B1/11(2006.01)I | 专利有效期 | 一种内置天线射频离子源 至一种内置天线射频离子源 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种内置天线射频离子源，主体由真空腔体、大于等于两匝金属管绕成的天线线圈和绝缘保持架组成，所述的天线线圈通过绝缘保持架绝缘分隔固定，且天线线圈呈平行状态排列布置在真空腔体内，绝缘保持架填充天线线圈间的空隙，避免此空间粒子在射频激励下加速到高能量直接对天线轰击造成对天线的破坏。本实用新型没有法拉第筒的作用，射频功率直接耦合进等离子体，效率高；绝缘保持架填充射频天线间空隙,避免此空间粒子在射频激励下加速到高能量直接对天线轰击造成对天线的破坏。 |
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