| 专利名称 | 一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 | 申请号 | CN201620932071.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205954105U | 公开（授权）日 | 2017.02.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院金属研究所 | 发明（设计）人 | 姜辛;刘鲁生;黄楠;杨兵;翟超峰;李俊豪;贾心怡 | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 专利有效期 | 一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 至一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置。该装置设有密闭的反应腔体，反应腔体的一端设有气体喷淋头，气体喷淋头通过管路与外部气源连接，反应腔体的另一端设有抽真空系统和真空测控系统；反应腔体内部设有中空的水冷样品台，水冷样品台的中空部分向内依次设有绝缘层、导电层、工件、热丝。本实用新型可以实现在工件内孔快速、均匀沉积金刚石薄膜，减少反应气体的消耗，沉积过程中能测控热丝的温度、工件表面的温度和反应腔内的压强，能准确控制金刚石薄膜沉积各项主要工艺参数，工艺重复性好。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障