Flash memory device and method for manufacturing the same

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专利名称 Flash memory device and method for manufacturing the same 申请号 US201113148265 专利类型 US 公开(公告)号 US8878280(B2) 公开(授权)日 2014.11.04 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 Zhu Huilong;Yin Haizhou;Luo Zhijiong 主分类号 H01L29/788 IPC主分类号 H01L29/788;H01L27/115;H01L29/66;H01L21/84;H01L27/12 专利有效期 Flash memory device and method for manufacturing the same 至Flash memory device and method for manufacturing the same 法律状态 说明书摘要 The present invention provides a FinFET flash memory device and the method for manufacturing the same. The flash memory device is on an insulating layer, comprising: a first fin and a second fin, wherein the second fin is a control gate of the device; a gate dielectric layer, at side walls and top of the first fin and the second fin; source/drain regions, inside the first fin at both sides of a floating gate.

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