Semiconductor structure and method of manufacturing the same

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专利名称 Semiconductor structure and method of manufacturing the same 申请号 US201214001216 专利类型 US 公开(公告)号 US8829576(B2) 公开(授权)日 2014.09.09 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 Zhu Huilong;Yin Haizhou;Luo Zhijiong 主分类号 H01L29/76 IPC主分类号 H01L29/76;H01L29/66;H01L29/78 专利有效期 Semiconductor structure and method of manufacturing the same 至Semiconductor structure and method of manufacturing the same 法律状态 说明书摘要

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