Semiconductor substrate for manufacturing transistors having back-gates thereon

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专利名称 Semiconductor substrate for manufacturing transistors having back-gates thereon 申请号 US201113696995 专利类型 US 公开(公告)号 US8829621(B2) 公开(授权)日 2014.09.09 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 Zhu Huilong;Luo Zhijiong;Yin Haizhou;Zhong Huicai 主分类号 H01L21/70 IPC主分类号 H01L21/70;H01L27/12;H01L21/84;H01L27/092;H01L21/74;H01L21/762;H01L29/786 专利有效期 Semiconductor substrate for manufacturing transistors having back-gates thereon 至Semiconductor substrate for manufacturing transistors having back-gates thereon 法律状态 说明书摘要

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