| 专利名称 | Wafer transfer apparatus and wafer transfer method | 申请号 | US201113140471 | 专利类型 | US | 公开（公告）号 | US8834155(B2) | 公开（授权）日 | 2014.09.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | Li Chunlong;Li Junfeng | 主分类号 | F27D15/02 | IPC主分类号 | F27D15/02;H01L21/677;H01L21/67 | 专利有效期 | Wafer transfer apparatus and wafer transfer method 至Wafer transfer apparatus and wafer transfer method | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障