| 专利名称 | Phasenverschiebendes Beugungsinterferometer mit Doppelpinhole und gro?er Apertur und Testverfahren | 申请号 | DE20141102949T | 专利类型 | DE | 公开（公告）号 | DE112014002949(T5) | 公开（授权）日 | 2016.03.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | JIN, CHUNSHUI;VOZNESENSKAIA, MARIIA;VOZNESENSKIY, NIKOLAY;MA, DONGMEI;ZHANG, HAITAO;YU, JIE;VOZNESENSKAIA, TATIANA;ZHANG, WENLONG | 主分类号 | G01B9/02 | IPC主分类号 | G01B9/02 | 专利有效期 | Phasenverschiebendes Beugungsinterferometer mit Doppelpinhole und gro?er Apertur und Testverfahren 至Phasenverschiebendes Beugungsinterferometer mit Doppelpinhole und gro?er Apertur und Testverfahren | 法律状态 | 说明书摘要 | Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein phasenverschiebendes Beugungsinterferometer mit Doppel-Pinhole und gro?er Apertur und ein Testverfahren; das Beugungsinterferometer umfasst: einen Referenzlichtdurchgang, einen Testlichtdurchgang und ein Pinhole-Substrat; wobei das Pinhole-Substrat ein Test-Pinhole und ein Referenz-Pinhole umfasst; wobei die vom Test-Pinhole emittierte Beugungswellenfront durch die zu prüfende optische Komponente in der N?he des Pinhole-Substrats reflektiert wird und in der N?he des Referenz-Pinholes konvergiert, und die betreffende Beugungswellenfront Information bezüglich der Oberfl?chenbeschaffenheit der zu prüfenden optischen Komponente umfasst und durch das Pinhole-Substrat reflektiert wird und mit der vom Referenz-Pinhole emittierten Beugungswellenfront unter Bildung von Interferenzstreifen interferiert. Das phasenverschiebende Beugungsinterferometer mit Doppel-Pinhole und gro?er Apertur der vorliegenden Erfindung verwendet ein Doppel-Pinhole Substrat und eine Beleuchtungsweise mit zwei konvergierenden Lichtwegen, um damit St?rungen zwischen den beiden Lichtwegen zu vermeiden, die w?hrend der Phasenverschiebung eine Ver?nderung des Interferogramm-Status hervorrufen würden. Durch die Verwendung eines Erfassungssystems zur optischen Erfassung eines Kleinfeld-Interferogramms vermeidet die vorliegende Erfindung die Beeinflussung des Testlichtdurchgangs und erzielt eine Prüfung mit gro?er numerischer Apertur unter Phasenverschiebungs-Bedingungen. |
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