| 专利名称 | 一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计 | 申请号 | CN201620763927.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205898308U | 公开（授权）日 | 2017.01.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 发明（设计）人 | 杨俊;姬乙雄;汤林龙;冯双龙;周大华;申钧;魏兴战;史浩飞;杜春雷 | 主分类号 | G01J5/10(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J5/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计 至一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计，包括氮化硅支撑层(5)，所述氮化硅支撑层(5)向上依次为第一碳纳米红外吸收层(4)，热敏感层(3)，第二碳纳米红外吸收层(2)和氮化硅保护层(1)；所述第二碳纳米红外吸收层2和氮化硅保护层(1)构成微测辐射热计的顶部红外吸收层；所述第一碳纳米红外吸收层4和氮化硅支撑层(5)构成微测辐射热计的底部红外吸收层，底部红外吸收层与金属反射层(7)之间通过支撑桥墩(6)形成红外吸收谐振腔(9)；所述金属反射层(7)位于硅衬底(8)之上。该微测辐射热计采用碳纳米材料作为红外吸收增强层，不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度，而且可以实现宽波段红外吸收，器件结构简单，有优异的非制冷红外探测性能。 |
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