| 专利名称 | 一种密封容器的真空密封性能测量装置 | 申请号 | CN201620713855.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205826251U | 公开（授权）日 | 2016.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 吴晓斌;张罗莎;王魁波;陈进新;罗艳;谢婉露;周翊;王宇;崔惠绒 | 主分类号 | G01M3/32(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M3/32(2006.01)I;G01M3/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种密封容器的真空密封性能测量装置 至一种密封容器的真空密封性能测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种密封容器的真空密封性能测量装置，该装置包括第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、密封容器(5)、角阀(6)、限流小孔(7)、分子泵组(8)、第一干式机械泵(9)、插板阀(10)、真空规(11)、四极质谱计(12)、测量室(13)。其中第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、真空规(11)、四极质谱计(12)分别各自连接到测量室(13)，限流小孔(7)的一端通过角阀(6)连接到测量室(13)，限流小孔(7)的另一端连接到分子泵组(8)和插板阀(10)之间，第一干式机械泵(9)通过分子泵组(8)借由插板阀(10)连接到测量室(13)。 |
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