| 专利名称 | 一种准分子激光器工作气体配送装置 | 申请号 | CN201620623605.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205828871U | 公开（授权）日 | 2016.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 丁金滨;刘斌;周翊;王宇 | 主分类号 | H01S3/036(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/036(2006.01)I | 专利有效期 | 一种准分子激光器工作气体配送装置 至一种准分子激光器工作气体配送装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种准分子激光器工作气体配送装置，用于激光器系统用多种高纯气体的供应，该装置具有包括多路进气口的多路进气通道，用于实现对一个或多个放电腔的注气，还具有排气通道，用于实现对一个或多个放电腔的排气。本实用新型还公开了一种采用四路进气、两路输出到放电腔的准分子激光器高纯工作气体配送装置，其根据工作气体的种类适当调整进气路数以满足不同气体的配置。根据激光器可能采用单腔或者双腔的结构特点，通过调整气体输送系统输出到放电腔的路数进行控制，可以满足不同结构特点激光器的需要。 |
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