| 专利名称 | 声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔 | 申请号 | CN201620146902.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205790914U | 公开（授权）日 | 2016.12.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 李慧;赵江山;张立佳;范元媛;沙鹏飞;宋兴亮;王倩;蔡茜玮;鲍洋;崔惠绒;周翊 | 主分类号 | H01S3/036(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/036(2006.01)I | 专利有效期 | 声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔 至声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔。声波和激波控制结构贴附在放电腔内壁上，在放电腔内声波和激波重点传播区域设置该控制结构，必要时放电腔全腔内壁均覆盖。声波和激波控制结构由若干组微结构组成，该声波和激波控制结构由微结构拼凑在面内扩展而成，所述微结构是指呈一定规律分布的交错相间的凹陷结构或凸起结构，微结构可由周期性排列的单元结构组成。本实用新型能够大幅降低声波和激波的强度，降低对放电区后续高压放电和激光输出稳定性的不利影响。 |
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