| 专利名称 | 一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置 | 申请号 | CN201620185955.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205726816U | 公开（授权）日 | 2016.11.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 王魁波;张罗莎;吴晓斌;陈进新;罗艳;谢婉露;周翊;王宇 | 主分类号 | H05K7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | H05K7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置 至一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置，装置包括密封壳体(5)和封口装置(7)，密封壳体(5)具有一个腔室(51)，腔室(51)用于容纳发热元件并具有一个开口端；腔室(51)的内壁上形成有支承部(52)，该支承部(52)支承发热元件的边缘，用于将发热元件产生的热量传送到密封壳体(5)；封口装置(7)位于密封壳体(5)的开口端，用于封闭所述腔室(51)；发热元件与支承部(52)相接的部分可设置热界面材料(4)；密封壳体(5)的壁面内部或外部可设置冷却装置(6)以冷却密封壳体(5)。本实用新型可用于对发热元件进行密封及散热，可增加对发热元件的导热性能，适于对极紫外光刻的板级电子学系统进行高效散热。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障