夏克-哈特曼波前传感器频响特性的标定装置

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专利名称 夏克-哈特曼波前传感器频响特性的标定装置 申请号 CN201620407340.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN205719274U 公开(授权)日 2016.11.23 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 刘尚阔;段亚轩;李晶;赵建科;薛勋;周艳 主分类号 G01J9/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/00(2006.01)I 专利有效期 夏克-哈特曼波前传感器频响特性的标定装置 至夏克-哈特曼波前传感器频响特性的标定装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及夏克-哈特曼波前传感器频响特性的标定装置,包括刀口、刀口位置精密调节装置以及依次设置在激光器输出光路上的准直镜和传感器;传感器与准直镜的光轴穿好;传感器的微透镜阵列的行方向垂直于空间直角坐标系的XOZ平面,列方向平行于空间直角坐标系的OX轴。刀口安装在刀口位置精密调节装置上,刀口距微透镜阵列所在平面的距离小于Lx/(λvmax),vmax为传感器的截止频率,Lx为传感器在X方向上的工作长度,λ为所述激光器输出激光的波长;刀口的刃边与微透镜阵列的行方向平行,刃边位于微透镜阵列下方,刃边沿准直镜光轴方向的延长线交于微透镜阵列最下方一行透镜的中心处。本实用新型能获取传感器在全频段的响应特性。

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