| 专利名称 | 微型二维扫描镜 | 申请号 | CN201620380556.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205720868U | 公开（授权）日 | 2016.11.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 发明（设计）人 | 马玉婷;钟金凤;严心涛;吴云良;陈忠祥;裴智果;王策 | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | 专利有效期 | 微型二维扫描镜 至微型二维扫描镜 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本案涉及一种微型二维扫描镜，包括：支架，其由金属条围成一个框体，具有两条侧臂；反射片，其被两条对称分布的弹性臂悬置在所述框体内，所述弹性臂的一端连接所述反射片，另一端连接所述支架的侧臂；压电片，其设置在所述支架的侧臂上，用于在电场作用下产生逆压电效应，从而驱动反射片旋转。本案解决了一维和二维扫描镜扫描频率低、结构复杂、加工难度大的问题；整体结构简单，在一种驱动源、单片压电片下实现反射镜的二维偏转扫描，易于微型化；成本低廉，采用金属基底和激光刻板工艺即可完成基底的加工，利于大规模批量生产。 |
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