一种高灵敏度的双端对谐振式声表面波检测器

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专利名称 一种高灵敏度的双端对谐振式声表面波检测器 申请号 CN201620110272.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN205647458U 公开(授权)日 2016.10.12 申请(专利权)人 中国科学院声学研究所 发明(设计)人 刘久玲;何世堂;刘明华;孔银鸽 主分类号 H03H9/02(2006.01)I IPC主分类号 H03H9/02(2006.01)I;H03H9/24(2006.01)I;G01N29/02(2006.01)I 专利有效期 一种高灵敏度的双端对谐振式声表面波检测器 至一种高灵敏度的双端对谐振式声表面波检测器 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种双端对谐振式声表面波检测器,包括制作在基片(1)上的双端对谐振器,在基片(1)上设置有第二叉指换能器(3),在第二叉指换能器(3)的两侧分别设置第一叉指换能器(2)和第三叉指换能器(4),第二叉指换能器(3)和第一叉指换能器(2)形成第一间隔,第二叉指换能器(3)和第三叉指换能器(4)形成第二间隔;在第一叉指换能器(2)的另一侧设置有第一金属反射栅阵(5),在第三叉指换能器(4)的另一侧设置有第二金属反射栅阵(6);其中,第一间隔与第二间隔相等,且为上述叉指换能器的波长的0?3.5倍。

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